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VAT 板閥 02109-CA24-AOZ1技術參數(shù)

更新時間:2024-01-29   點擊次數(shù):438次

在所有條件下出色的壓力控制和隔離

61.6高壓控制蝶閥具有 的壓力控制和隔離性能。憑借其快速精確的動作控制器(0.45秒),它是CVD工藝中精細控制和隔離的 解決方案。該板起到節(jié)流元件的作用,并改變閥門開口的傳導率。61.6的集成壓力控制器計算所需的板位置,以盡可能快地達到設定壓力。



61.6系列隔離功能是專門設計的,以避免蝶閥 的較高密封磨損。由于它偏離了中心板軸,閥體和密封座的特殊幾何形狀,密封摩擦最小化,密封性能提高。



61.6系列已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)千個苛刻的應用中,證明了其 可靠性。采用堅固的設計和直接安裝選項

可靠的高速保護

現(xiàn)代切斷閥的主要要求是其在任何回流事件中都能可靠、快速地進行緊急隔離。25.7設計用于提供靈敏、高速的隔離功能,可靠地防止回流到工藝室或管道系統(tǒng)中的風險。



25.7 HV快速切斷閥采用流量控制。無任何子系統(tǒng)(傳感器和執(zhí)行器)的直接操作設計提供了低復雜性和低故障風險的高速隔離。從最初的回流脈沖到 隔離不到10毫秒,25.7 于同類產(chǎn)品。



作為一種安 方案,理想情況下,截止閥應不為系統(tǒng)增加電導屏障。25.7的特殊流量優(yōu)化設計在這方面樹立了標準,在高電導和快速隔離之間實現(xiàn)了 平衡。



當用于氣流中含有副產(chǎn)品的工藝時,例如前級管線應用,快速沖洗上的任何污染物積聚


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